湖北滨润1吨电子行业超纯水标准适用范围
电子行业不同等级的超纯水标准,对应不同电子制造领域的用水需求,具体适用范围如下:
国内标准EW-Ⅰ级(***高等级,≥18MΩ·cm)
适用于高端精密电子制造场景,具体包括:
先进制程半导体芯片:6-12英寸晶圆切割、光刻、蚀刻、CMP抛光、清洗等全工艺环节,满足7nm及以下先进制程芯片的生产要求;
高端显示面板:LCD、OLED、QLED、8K超高分辨率面板的玻璃基板、光学膜片生产清洗;
高端光电子器件:光学摄像头镜头、光纤预制棒、光芯片、半导体激光器件生产清洗;
高端集成电路:先进封装制程、高端集成电路板生产的清洗与配液环节。
国内标准EW-Ⅱ级(≥15MΩ·cm)
适用于中高端电子及新能源电子制造场景,具体包括:
光伏新能源:单晶硅/多晶硅切片清洗、制绒刻蚀、光伏电池、光伏玻璃、石英坩埚的生产用水;
储能电子:动力锂电池正负极材料、三元材料/磷酸铁锂制备、锂电池隔膜生产、电解液配制用水;
常规电子元器件:普通PCB线路板、电容器、连接器、电子陶瓷材料生产清洗;
其他:超纯电子化学试剂勾兑、汽车/家电高精度表面抛光处理用水。
低等级电子级纯水(2-10MΩ·cm)
适用于对水质要求相对较低的通用电子生产环节,具体包括:
普通电子元器件:普通蓄电池、锌锰电池、低压电子元件生产清洗;
基础电子材料:磁性材料、有色金属/贵金属冶炼、航空新材料生产用水;
加工环节:普通电子零件清洗、电镀液配制、普通封装材料生产用水。
国际SEMI/ASTM***高等级(≥18.2MΩ·cm)
适用于全球顶尖电子制造场景,主要是线宽<14nm的先进制程芯片、Micro-LED新型显示、存储芯片等高端领域的生产,满足国际一流电子制造企业的出口代工需求。